真空等離子噴涂（VPS）是一種在真空中，表面可以涂上等離子增強(qiáng)的涂層過程。這個過程可以給表面某些特性，而載體材料卻不會改變。

技術(shù)上要求的真空等離子噴涂（VPS）系統(tǒng)涂層工藝要求有一個雙壁的水冷式真空室。待涂覆的部件放在里面，然后關(guān)閉處理室。真空系統(tǒng)將腔室排出壓力為0.08毫巴。這確保了大氣中的氧氣和附著在部件上的水蒸氣完全被疏散，不會對部件產(chǎn)生負(fù)面影響。這也為產(chǎn)生極其純凈的氣體環(huán)境創(chuàng)造了條件。接著，處理室與氬氣的壓力會被刷新到100毫巴，然后進(jìn)一步疏散到1毫巴。

只有當(dāng)工藝氣體混合物進(jìn)入，等離子燃燒器被開啟時，實(shí)際的涂層才會開始。這是針對個別涂層和材料進(jìn)行定制的。涂層主要受能量輸入、所使用的氣體和氣體混合物、溫度、涂覆時間以及單個工藝步驟的壓力水平的影響。

在高電流的情況下，等離子體產(chǎn)生了一種電弧，將能量轉(zhuǎn)移到涂層上。噴霧粉末混合在氣體射流中，液體液滴在20,000攝氏度的溫度范圍內(nèi)形成，并被加速、壓縮和噴射到工件表面。真空室中的一個處理機(jī)器人在這個過程中移動等離子燃燒器，并確保所有部件均勻地噴灑。整個涂裝過程大約需要30分鐘。

由于對特定壓力水平的精確維護(hù)對涂層工藝非常重要，使用頻率控制的螺桿真空泵作為真空系統(tǒng)的后備泵。真空系統(tǒng)分為三個階段。在每一種情況下，它由兩個真空助力器組成，它預(yù)先壓縮了被疏散的空氣和沖水或過程氣體，然后將它傳送給另外兩個額外正在并行工作的真空助推器。因此，在氣體混合物或氣體被進(jìn)一步壓縮在下游的螺桿真空泵之前，就會產(chǎn)生額外的壓縮，從而達(dá)到系統(tǒng)的最終壓力。使用的推進(jìn)器的大小是協(xié)調(diào)的，以達(dá)到每小時12,000立方米的泵送速度。真空系統(tǒng)能夠迅速達(dá)到真空室中0.08毫巴的初始疏散所需的壓力，但能夠在所有壓力范圍內(nèi)工作，達(dá)到900毫巴，并精確地維持該過程所需的設(shè)置點(diǎn)。

除了頻率控制驅(qū)動之外，好凱德螺桿真空泵也有其他優(yōu)點(diǎn)，即它們是水冷的。這意味著操作溫度可以設(shè)定或被設(shè)定到一個溫度范圍，以防止過程氣體在真空泵中冷凝。這兩種螺桿真空泵都連接到真空等離子噴涂（VPS）涂層系統(tǒng)冷卻水系統(tǒng)。這也為整個系統(tǒng)提供了電離冷卻的水。由于水的冷卻，沒有任何熱量的釋放。螺桿真空泵以完全干燥的工藝運(yùn)轉(zhuǎn)。這意味著，它們不需要在壓縮腔內(nèi)操作流體，可以與過程氣體混合。

等離子噴涂（VPS）涂層系統(tǒng)，到目前為止，雅之雷德機(jī)電主要使用的是真空系統(tǒng)，系統(tǒng)可使用旋轉(zhuǎn)葉片真空泵作為其涂層系統(tǒng)的支持泵。這些油潤滑的真空泵是系統(tǒng)中非?？煽亢蛷?qiáng)大的部件。但是由于設(shè)計，旋轉(zhuǎn)葉片真空泵只能在有限范圍內(nèi)使用頻率控制。