干式螺桿真空泵內(nèi)裝有一對平行的螺旋狀的轉(zhuǎn)子，其中一件轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)方向為右旋，另一件為左旋。兩個轉(zhuǎn)子在泵體內(nèi)通過一對齒輪保持同步反向旋轉(zhuǎn)。

轉(zhuǎn)子和轉(zhuǎn)子之間，轉(zhuǎn)子與泵體之間沒有摩擦且保持一定的間隙，兩個轉(zhuǎn)子和泵體形成密封腔，密封腔的個數(shù)等于轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)圈數(shù)。

兩個轉(zhuǎn)子在旋轉(zhuǎn)時，與吸氣口相連的密封腔空間在旋轉(zhuǎn)過程中逐漸變小，氣體被壓縮到排氣口，長時間運轉(zhuǎn)時需向泵體及端蓋的夾套內(nèi)通入適量的冷卻水以對泵進行冷卻。

因壓縮熱主要在排氣側(cè)產(chǎn)生，為了充分冷卻轉(zhuǎn)子，干式螺桿真空泵在多數(shù)工況下可以將適量的空氣或其他合適的氣體通過摻氣口導(dǎo)入泵腔。

1.抗腐蝕性設(shè)計：在同氣體相接觸的部件表面均采用了鍍鎳/特氟龍等涂層，避免氣體對壓縮腔體部件的腐蝕。

2.無油無水的純凈系統(tǒng)運行：無油無水的純凈的工作過程，極易化工氣體介質(zhì)的回收。

3.低噪音系統(tǒng)的機械設(shè)計運行：無金屬及部件介面的接觸，確保系統(tǒng)長壽命、低振動、低噪音以及低磨損耗。

4.低排氣溫度：轉(zhuǎn)子用水套冷卻系統(tǒng)，在壓縮區(qū)從內(nèi)部強化冷卻，用這種方法，氣體溫度可以得到調(diào)節(jié)。

5.短氣路，避免氣體冷凝和結(jié)露銹蝕機腔。

6.緊湊式一體機組，占地空間小。

7.低真空和高流量

干式螺桿真空泵可確保真空極限壓力達到0.01Torr, 任何壓力下，均可連續(xù)運行，螺桿轉(zhuǎn)子具有極高的工作效率。

1.干式螺桿真空泵的極限壓力應(yīng)該滿足該工藝的工作壓力。通常選擇泵的極限壓力低于工藝要求約一個數(shù)量級。

2.每種泵都有一定的工作壓力范圍，因而，泵的工作點應(yīng)該選擇在這個范圍之內(nèi)，而不能讓它在允許工作壓力以外長時間工作。

 3.干式螺桿真空泵在其工作壓力下，應(yīng)能排走真空泵設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。

4.選擇真空機組：

1）當使用一種泵不能滿足抽氣及真空要求時，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足工藝要求。

2）有些真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的干式螺桿真空泵出口壓力低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。經(jīng)組合使用的真空泵，我們稱之為真空泵機組，它能是真空系統(tǒng)得到較好的真空度及排氣量。

我們應(yīng)正確地選擇組合的真空泵，由于不同的真空泵對抽除的氣體要求 有不同的要求，例如：在一般情況下羅茨-旋片機組不適用于含有較多凝性氣體的系統(tǒng)。

5.當您選擇油封泵時，您應(yīng)該首先了解您的真空系統(tǒng)是否對油污染有要求。

若設(shè)備嚴格要求無油時，應(yīng)該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、低溫泵等。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、擋油阱、擋板等，也能達到清潔真空要求。

6.了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸汽，有無顆?；覊m、有無腐蝕性等。

選擇干式螺桿真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸汽、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。

7.當選擇油封真空泵時，要考慮真空泵排出來的油蒸汽（油煙）對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，應(yīng)該選無油真空泵，或者把油蒸汽排到室外。

8.干式螺桿真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響，若工藝過程不允許，應(yīng)選擇無振動的泵或者采取防振動措施。