分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動(dòng)量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級(jí)抽走的一種真空泵。由于簡式牽引泵型線溝槽開在轉(zhuǎn)子圓柱外表面或泵體內(nèi)表面上，因此雅之雷德機(jī)電科技可以充分利用圓柱外圓較高的線速度對(duì)氣體分子進(jìn)行動(dòng)量傳遞，提高泵的抽氣效果。

由于渦輪級(jí)有較大的抽氣面積，抽速很大，而牽引級(jí)溝槽抽氣面積較小，在兩種結(jié)構(gòu)的聯(lián)接處，由渦輪葉片壓縮下來的氣體分子的流動(dòng)方式突然轉(zhuǎn)變，使氣體分子的運(yùn)動(dòng)在聯(lián)接處由有序變成無序，至使返流增加，抽氣能力下降。

1常見應(yīng)用

分析(質(zhì)譜分析、電子顯微鏡等)

半導(dǎo)體(電子組件、集成電路、柔性太陽能電池等)

光學(xué)/玻璃(熱保護(hù),增透、反射、光學(xué)濾光膜)

鍍膜(表面保護(hù)，裝飾涂料，顯示器，屏幕)

真空冶金(真空爐、真空釬焊、真空燒結(jié)、真空合金、)

泄漏檢測(cè)(真空系統(tǒng)、車輛的油箱,安全氣囊

研究實(shí)驗(yàn)(醫(yī)學(xué)核磁共振成像、核粒子物理，核聚變研究，激光應(yīng)用和許多更多)

燈生產(chǎn)行業(yè)及相關(guān)

2工作條件

轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速達(dá)到20000r/min，故分子泵啟動(dòng)時(shí)間較長。

氣體處于分子流狀態(tài)，故需要配備前級(jí)泵，一般使用好凱德旋片泵作為前級(jí)泵。

3特點(diǎn)

油潤滑分子泵：潤滑油量小，且在前級(jí)真空段，對(duì)真空室污染小。

脂潤滑分子泵：油脂量極小，前級(jí)配干泵可獲得近似無油的清潔真空。

全磁懸浮分子泵：無須潤滑，與干泵一起使用，可獲得無油的清潔真空環(huán)境。

附：真空泵最佳工作范圍