超高真空系統(tǒng)選泵的注意事項(xiàng)
2019/2/25 10:04:03
真空系統(tǒng)
真空泵
雅之雷德
超高真空主要用于表面研究、熱核反應(yīng)、高能加速器、半導(dǎo)體研究、空間模擬等科學(xué)領(lǐng)域中。目前超高真空實(shí)用真空度可達(dá)10﹣12Pa。
超高真空系統(tǒng)都是根據(jù)工藝要求由用戶自行設(shè)計(jì)或委托制造廠商特殊加工制造的,很難買到適合用戶要求的成套超高真空機(jī)組。超高真空系統(tǒng)的選泵、選材、選閥門和選密封機(jī)構(gòu)等要求嚴(yán)格;焊接加工和方法與常規(guī)不同;要求漏氣率和放氣漏比普通真空系統(tǒng)要低;抽真空時(shí)還要采用烘烤措施等。
那么這么一個(gè)超高真空系統(tǒng)在選泵的時(shí)候又有哪些注意事項(xiàng)呢?怎樣才是更適合的呢?今天就此問題簡單的說一下。
對超高真空系統(tǒng)使用的真空泵要求,除通常的選泵原則外,還有:
1、主泵極限真空要比真空裝置的工作真空高一個(gè)到一個(gè)半數(shù)量級,如工作真空選1×10﹣6Pa,那么泵的極限真空至少為1×10﹣7Pa;
2、在真空裝置的工作真空范圍內(nèi),真空泵要有足夠的抽速,以便排走裝置中的氣體;
3、主泵或者主泵入口到真空室排氣口的管道,冷阱、擋板、閥門等均能受250~450℃的烘烤;
4、主泵對被抽氣體有選擇性抽氣時(shí),應(yīng)配輔助泵聯(lián)合抽氣;
5、真空泵所用剛才應(yīng)選用不銹鋼。
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