旋片真空泵在抽空工藝中的應(yīng)用
2018/8/10 9:56:46
旋片真空泵
好凱德真空泵
好凱德
抽空工藝
好凱德真空泵的哪些真空解決方案尤其適合抽空工藝?
容器抽空,即抽除密封容器中的空氣或氣體,是真空技術(shù)最為廣泛的應(yīng)用之一。這類應(yīng)用種類繁多。
所謂抽空,在多數(shù)環(huán)境空氣工業(yè)應(yīng)用中,一般理解為排空物理空間內(nèi)的氣體。當(dāng)環(huán)境空氣或氧氣的存在對制造或測試工藝產(chǎn)生干擾時,常需要進(jìn)行抽空。
根據(jù)應(yīng)用的不同,對真空度的要求也不盡相同,從中央真空系統(tǒng)要求的低真空到半導(dǎo)體生產(chǎn)硅片涂層的高真空。
容器抽空工藝應(yīng)用范圍廣泛,相應(yīng)地,此類真空泵產(chǎn)品也各式各樣。挑選真空獲得設(shè)備時,需要考慮的關(guān)鍵因素包括排氣體積以及要求達(dá)到的容器最終壓力。基本上我們所有的真空泵都能達(dá)到此類要求。
好凱德C旋片真空泵可用于許多不同的抽空工藝,因為其運行可靠且堅固耐用,表現(xiàn)最好。
好凱德爪式真空泵無油無接觸運行,基本無需維護(hù)。這類節(jié)能型真空泵用于低真空抽氣工藝。
Edwards GXS螺桿真空泵特別適合抽除腐蝕性或爆炸性氣體。GXS真空泵采用無油螺桿技術(shù),可以達(dá)到高真空度。
如果是高真空抽空工藝,雅之雷德機(jī)電科技建議采用由C旋片真空泵或無油爪式真空泵及EdwardsEH系列羅茨真空泵所組合而成的真空泵系統(tǒng)。適合高真空抽空的其它真空泵組合還包括渦輪分子真空泵和擴(kuò)散真空泵。
雅之雷德真空技術(shù)在抽氣工藝中的常見應(yīng)用范例:
真空包裝——包裝腔體抽空
容器真空系統(tǒng)——真空容器長期保持真空度
熱處理——真空爐抽空
表面涂層——鍍膜室抽空
模具排氣——鑄造質(zhì)量優(yōu)化
空間模擬——空間模擬室抽氣
傳送室——晶片生產(chǎn)
工藝室——主要用于半導(dǎo)體生產(chǎn)