油封機(jī)械真空泵是常用的真空泵，顧名思義：用油來保持密封的機(jī)械真空泵，可分為定片式、旋片式、滑閥式、余擺線式等。今天主要介紹旋片真空泵工作原理與定片真空泵的對比。

定片真空泵和旋片式真空泵在真空系統(tǒng)的應(yīng)用中極其廣泛，他們在真空系統(tǒng)中常用來系統(tǒng)的前級泵配置。我們先了解下真空系統(tǒng)對前級真空泵的要求。

前級真空泵是用于把1大氣壓的氣體抽除至較低的壓強(qiáng)一種真空設(shè)備。例如能將某一規(guī)定容器內(nèi)的氣體壓強(qiáng)從大氣壓(760托)抽至10-3托左右。在壓力為1托左右時抽氣速率與它的最高抽氣速率尚可比擬，即不致降落得太多。當(dāng)然從另一個方面來講，轉(zhuǎn)動真空泵利用泵浦轉(zhuǎn)子對特定的空間進(jìn)行分割，同時不斷膨脹以獲得低壓的設(shè)備，當(dāng)中定片真空泵與旋片式真空泵在真空系統(tǒng)前級泵上應(yīng)用最為廣泛。

定片真空泵的工作原理：

定片式轉(zhuǎn)動泵的原理是：在一個圓筒形定子內(nèi)有一個偏心裝置的圓柱作為轉(zhuǎn)子，用彈簧控制的單根滑板使定子內(nèi)部空間分離為A, B兩部分。在箱子以定子的中心為心軸而沿著箭頭指示的方向旋轉(zhuǎn)時，空間A的體積不斷擴(kuò)大、壓強(qiáng)降低而使外界氣體從進(jìn)口c抽入;空間B的體積不斷縮小，而使B內(nèi)的氣體壓力增大通過活閥而從出口D逸出。

為了要使泵的極限真空(即在泵工作了足夠時間后能達(dá)的最低壓強(qiáng)，位時泵的抽氣速率實(shí)際上等于零更高，通常使用兩個這樣的定子一轉(zhuǎn)子組串聯(lián)，以一組的出口作為另一組的進(jìn)口，用同一只電動機(jī)拖動，稱為雙級轉(zhuǎn)動泵。全部泵體則浸沒在油內(nèi)，以達(dá)到密封和潤滑的目的。這種泵的特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡單、使用壽命較長，檢修也很容易。定片式真空泵抽速較小且有單級、雙級之分，雙級泵的極限真空可達(dá)10-1Pa。但是在體積較大時(即抽氣速率要求較大)，因?yàn)榛咫y于保證密封而很少使用。

旋片真空泵工作原理

旋片式真空泵的結(jié)構(gòu)和定片式真空泵的結(jié)構(gòu)有著極為相似，不同在于虛擬空間的隔離以及產(chǎn)生做功的原理不同，例如某一特定空間隔成A, B兩部分，運(yùn)用葉片與定子轉(zhuǎn)子制造一接觸點(diǎn)F。轉(zhuǎn)子在工作中，以其為中心，對進(jìn)口和出口起到吸氣與排氣的兩種功效。當(dāng)然旋片式真空泵可以通過轉(zhuǎn)子串聯(lián)的方式提高真空值，以達(dá)到工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域的需求。例如常見的好凱德真空泵2RH系列是典型的雙級旋片真空泵，可以同雙轉(zhuǎn)子的原理，抽取低至0.5Pa的高真空值。