2021螺桿真空泵火了,半導(dǎo)體行業(yè)是幕后推手
2021/5/30 9:31:43
干泵
螺桿真空泵
好凱德真空泵
半導(dǎo)體真空泵
得益于半導(dǎo)體行業(yè)的井噴式發(fā)展,螺桿真空泵成功“上位”,火起來了!
經(jīng)歷了
20 世紀(jì) 70 年代由美國(guó)轉(zhuǎn)向日本,以及 20 世紀(jì) 80
年代轉(zhuǎn)向韓國(guó)和中國(guó)臺(tái)灣,目前半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正在經(jīng)歷向中國(guó)大陸的第三次轉(zhuǎn)移。目前,中國(guó)擁有具有全球規(guī)模的,且增長(zhǎng)迅速的集成電路消費(fèi)市場(chǎng)。受益于龐大的消費(fèi)市場(chǎng)以及國(guó)家產(chǎn)業(yè)政策的大力支持,國(guó)內(nèi)集成電路制造企業(yè)均加大在中國(guó)大陸的投資以擴(kuò)張產(chǎn)能。
干式真空泵是半導(dǎo)體各制程中必備的通用設(shè)備,應(yīng)用于單晶拉晶、Load-Lock、刻蝕、CVD、原子層沉積(ALD)、封裝、測(cè)試等清潔或嚴(yán)苛制程。
半導(dǎo)體產(chǎn)品制造過程中所需的真空系統(tǒng),需要具備抽除腐蝕性氣體、粉塵顆粒物、有毒氣體等功能,因此干式螺桿真空泵是非常好的選擇。
(半導(dǎo)體行業(yè)真空泵應(yīng)對(duì)制程)
干式真空泵應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的關(guān)鍵優(yōu)勢(shì)在于:
1.消除了工藝過程污染油或油搭載進(jìn)入尾氣處理系統(tǒng)的風(fēng)險(xiǎn)
2.不會(huì)產(chǎn)生廢物、或者污染寶貴的溶劑、產(chǎn)品或環(huán)境
3.它是完全干燥的,對(duì)上下游工藝沒有任何污染
4.干式真空泵中不會(huì)發(fā)生任何腐蝕
5.效率更高,耗電更少
6.吸入的溶劑或其他有用的成分可以在泵的出口直接回收
好凱德Hokaido的RKB/RKD干式螺桿泵,TURBO-M系列分子泵,是專為半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計(jì)的真空泵。
RKB/RKD干式螺桿泵,具有運(yùn)轉(zhuǎn)功率低,噪音低,抽速快等特點(diǎn)。
·可依制程/環(huán)境需求選用水冷,氣冷及防爆馬達(dá)
·氣冷馬達(dá)機(jī)型可搭配自循環(huán)冷卻系統(tǒng),能使用在無冷卻水系統(tǒng)的環(huán)境
·可依不同需求選配魯式泵浦,抽氣速率最大可達(dá)3500m3/h
TURBO-M系列分子泵
·抽速介于10-2700升/秒
·較高的性價(jià)比和靈活的安裝方式
·高抽速不受高負(fù)荷或雜質(zhì)氣體侵入影響
以上是好凱德用于半導(dǎo)體行業(yè)的干泵和分子泵的簡(jiǎn)單介紹,需要了解更多,請(qǐng)聯(lián)系好凱德。